ЧемшунПлоча за полирање алуминијумских плочица/окретни сто је направљен од алуминијума високе чистоће 99,7-99,9%. Алуминијумска керамика високе чистоће одликује се изузетном чврстином и одличном отпорношћу на хабање за полирање плочица и одржава добар облик површине током дужег временског периода. Обликована је PIBM методом. Члан је полупроводничке индустрије због своје ненадмашне термичке и димензионалне стабилности и отпорности на тешка окружења опреме за обраду микрочипова.
Хемијско-механичка планаризација (ХМП), такође позната као хемијско-механичко полирање, је технологија у процесу производње полупроводничких уређаја. Користи хемијску корозију и механичке силе за изравнавање силицијумских плочица или других материјала подлоге током обраде.
CMP опрема је углавном подељена на два дела: део за полирање и део за чишћење. Део за полирање се састоји од 4 дела, наиме 3 обртна стола за полирање и модула за утовар и истовар плочице. Део за чишћење је одговоран за чишћење и сушење плочице како би се постигло њено „убацивање и избацивање“. У целој опреми за полирање, алуминијумска керамика игра важну улогу.
Алуминијумска керамика се обично користи за израду дискова за полирање плочица, који захтевају високу чистоћу, високу хемијску издржљивост и добру контролу облика и храпавости површине.
Керамички брусни диск Chemshun 99,7% Al2O3 је направљен од напредних керамичких материјала, погодних за фино брушење различитих материјала, посебно за брушење крхких материјала као што су плочице, керамика и стакло. Наш керамички брусни диск може се направити у различитим величинама у складу са различитим моделима брушења и полирања.
Време објаве: 30. мај 2025.